美國 HVA 三位真空閘閥 21700 系列
HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕、 CVD、真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業。HVA 三位真空閘閥與上游質量流量控制器一起使用時，提供異常壓力控制功能，該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩過渡。HVA 三位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調節器控制閥門的3種開啟方式：一個電磁閥控制閥門的完全關閉和完全開啟，另一個電磁閥用于控制和調節閥門的任意開啟位置。21700 系列三位真空閘閥廣泛應用于低溫泵、渦輪分子泵、離子泵及其他對清潔度要求高、低除氣的高真空行業。.
HVA 三位真空閘閥 21700 系列產品特點
1. 機械預設、遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標準或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術參數：
閥門材質： | |
閥門主體 | 304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 | AM-350 |
驅動軸和驅動銷 | 硬質不繡鋼 |
閥門密封方式： | |
高真空 | 氟橡膠 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差壓關閉 | 1 bar |
真空： | |
壓力范圍 | 高真空1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關閉 | 1 bar (任意位置) |
開啟前真空閥門制造商。美國HVA原裝進口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應用于半導體、鍍膜、激光、科研、工業等領域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區指定總代理商。
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